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新聞詳情
電商MRO供應(yīng)鏈德國optrisc歐普士單體紅外測溫儀CSmicro紅外成像揭示晶圓上的光刻膠殘留物
日期：2025-05-01 04:54
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摘要：紅外成像揭示晶圓上的光刻膠殘留物
紅外熱像儀是實(shí)現(xiàn)這一目的的高效工具，因?yàn)樗鼈兛梢允惯@些顆粒、缺陷或殘留物可見。
紅外熱像儀通過檢測物體的熱輻射來工作。由于所用殘留物和化學(xué)清潔劑的輻射行為不同，紅外熱像儀可捕捉到在可見光譜范圍內(nèi)無法檢測到的熱對比度。這種熱對比度突出顯示了有殘留物或污染物的區(qū)域，從而可以進(jìn)行**識別和有針對性的清潔。高分辨率紅外熱像儀至關(guān)重要，因?yàn)樗梢蕴峁┰敿?xì)的成像來檢測晶圓上*小的殘留物和污染物。高分辨率增強(qiáng)了紅外熱像儀捕捉精細(xì)細(xì)節(jié)的能力，使其能夠識別低分辨率紅外熱像儀可能遺漏...
紅外成像揭示晶圓上的光刻膠殘留物
紅外熱像儀是實(shí)現(xiàn)這一目的的高效工具，因?yàn)樗鼈兛梢允惯@些顆粒、缺陷或殘留物可見。
紅外熱像儀通過檢測物體的熱輻射來工作。由于所用殘留物和化學(xué)清潔劑的輻射行為不同，紅外熱像儀可捕捉到在可見光譜范圍內(nèi)無法檢測到的熱對比度。這種熱對比度突出顯示了有殘留物或污染物的區(qū)域，從而可以進(jìn)行**識別和有針對性的清潔。高分辨率紅外熱像儀至關(guān)重要，因?yàn)樗梢蕴峁┰敿?xì)的成像來檢測晶圓上*小的殘留物和污染物。高分辨率增強(qiáng)了紅外熱像儀捕捉精細(xì)細(xì)節(jié)的能力，使其能夠識別低分辨率紅外熱像儀可能遺漏的微小顆粒。
Pi 640 紅外熱像儀是一款高性能熱成像設(shè)備，以其出色的分辨率和精度而聞名。它具有 640 x 480 像素的分辨率，可提供詳細(xì)的熱圖像，這對于需要檢測小熱異常的應(yīng)用至關(guān)重要。其先進(jìn)的 PIX Connect 軟件和堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使其成為可靠的集成工具。 PI 系列采用緊湊設(shè)計(jì)，即使在狹小空間內(nèi)也可以輕松集成?？蛻艨梢詮母鞣N光學(xué)元件中進(jìn)行選擇，例如 60° 鏡頭，它非常適合覆蓋整個(gè)反應(yīng)室并有效監(jiān)控所有基質(zhì)。
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2025/4/27
